03-18
优势经济利益:1.大批量的并行制造过程;2.系统级集成;3.封装集成;4.与IC工艺兼容。技术利益:1.高精度;2.重量轻,尺寸小;3.高效能。
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微机电系统是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成,尺寸通常在毫米或微米级,自八十年代中后期崛起以来发展极其迅速,被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事具有重大影响的技术领域,将成为21世纪新的国民经…
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MEMS陀螺仪是一种用于测量和保持方向的仪器,在航空、航天、航海、地震学等领域有着广泛的应用。MEMS陀螺仪的精度是衡量其性能的重要指标之一,直接影响到陀螺仪的使用效果和可靠性。MEMS陀螺仪的精度指标主要包括零偏…
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MEMS陀螺仪是一种用来测量角速度和角位移的MEMS传感器,在消费电子、汽车电子、医疗电子、工业机器人等领域有着广泛的应用。本期专业MEMS测试设备方案服务商SPEA为大家简单介绍下MEMS陀螺仪的原理和分类。MEMS陀螺的基…
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MEMS陀螺仪是一种利用科里奥利力原理工作的微机电系统(MEMS)传感器,它能够测量和保持方向,广泛应用于消费电子、汽车电子、医疗电子、工业机器人等领域。MEMS陀螺仪的核心是一个微加工机械单元,它通过振动或旋转…
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